一、标准速览：GB/T 14603-2025

图1  GB/T 14603-2025 标准

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）归口，TC203SC1气体分会执行，共57家行业头部单位参与起草。值得注意的是，北京球盟会(中国)技术有限公司作为第16家起草单位参与了本标准的编制工作，体现了其在拉曼光谱气体检测领域的技术实力和行业认可度。

标准适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体，覆盖 F₂、BF₃、BCl₃ 等多种电子特气。2026年2月1日起正式实施。

本标准中对氟氮气的技术要求如下表。在氟氮气检测方法中，标准规定，对氟氮混合气中的氟含量测定，可采用紫外分光光谱法和拉曼光谱法；对氟氮混合气中四氟化碳、六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、碳酰氟、四氟化硅、氟化氢含量的测定，可采用傅里叶红外光谱法和拉曼光谱法。

二、什么是拉曼光谱？它如何看见氟气？

拉曼光谱的原理可以简单理解为：当一束特定频率的激光照射到待测气体上时，绝大部分光子会弹性反弹回来（瑞利散射），但约十亿分之一到百万分之一的光子会在与分子碰撞的过程中损失或取得能量，频率发生微小的改变。这种频率变化完全取决于分子的化学结构和振动模式，就像每个分子的指纹。

对于氟氮混合气体系：

· F2 分子在约 888 cm^-1 波数处有特征拉曼峰；

· N2 分子在约 2330 cm^-1 波数处有特征拉曼峰；

· 两峰强度比与浓度比存在严格的线性关系，这是定量分析的基础。

整个检测过程无需化学试剂、无需取样消耗、光路全密闭，操作人员完全不接触剧毒氟气，从根本上消除了传统方法的安全隐患。

图2  F2 标准气体拉曼光谱图（约888 cm-1 特征峰）（来源：实测报告）

图3  氟氮混合气(F2/N2)拉曼光谱图，可同时识别 F2 与 N2 特征峰（来源：实测报告）

三、从激光打到结果：七步完成定量分析

完整的定量分析流程包含七个关键步骤：从激光照射产生拉曼散射信号，经过信号增强与光电转换取得光谱图，再顺利获得特征峰确认、定量建模，最终预测未知样品中的氟气含量。整个过程自动化程度高，一次进样即可同时获取多组分信息。

四、范式升级：拉曼法 vs 传统方法

图5  拉曼光谱法与传统氟气分析方法全面对比

上表从 9 个维度对比了两种技术路线的差异。核心优势可以概括为三点：

第一，安全性质的飞跃：传统方法需要取样并接触氟气，而拉曼法采用全密闭光路设计，可实现在线分析，操作人员与剧毒气体零接触。

第二，效率数量级的提升：从数十分钟缩短至秒级响应，且支持24小时陆续在在线监测。

第三，国标背书的可信度：GB/T 14603-2025 明确将拉曼光谱法列为等效检测方法，为企业采用新技术给予了合规依据。

五、实测验证：数据说话

理论再好也需要实践检验。以下为某特气公司采用球盟会(中国) RS2600FN F2 在线分析仪对 20% F2 / 80% N2 标准混合气进行重复性测试的原始数据。

表1：20%氟氮混合气测量数据表

注：A表示峰面积。

测试结果显示：

· F2 绝对峰面积 RSD = 0.236%；

· N2 绝对峰面积 RSD = 0.236%；

· F2/N2 峰面积比 RSD = 0.150%；

三项指标均远低于 1%，仪器重复性优异。这组数据直接证明了基于拉曼光谱法的氟气在线分析仪在实际工业场景中的可靠性与稳定性。

六、球盟会(中国) RS2600FNPAT F₂在线分析仪

图7  球盟会(中国) RS2600FNPAT F₂在线分析仪

RS2600FNPAT 是北京球盟会(中国)技术有限公司开发的在线氟气分析解决方案，基于激光拉曼光谱原理，具备以下核心能力：

技术特点

· 多组分同时分析：一次即可同时进行 F₂、N₂、CF₄、CO、CO₂、SF₆、SiF₄、HF 等多组分分析；

· 秒级响应：1s秒内完成单次信号采集，采集时间 0.2-60s 可调；

· 原位在线：耐受强腐蚀工况，无需复杂样品预处理，可原位分析；

· 无耗材运行：无色谱柱、无载气、无化学试剂，长期使用成本低；

· 高灵敏度：检出限低至 ppm 量级，量程可覆盖至 99%；

· 定量精准：采用多元标准曲线模型结合化学计量学方法，样气压力变化不影响定量准确度。

典型应用场景

· 电子特气生产：氟气/氟氮混合气/三氟化硼等的纯度监控与出厂检验；

· 半导体工艺：刻蚀气体配比实时监测，保障工艺稳定性；

· 光伏制造：含氟工艺气体的过程控制；

· 氟化工安全：氟气泄漏预警与浓度监测。

在氟氮气生产过程中，RS2600FNPAT 可对电解槽出口粗气、纯化分离装置出口气体、混配管线中的气体、充装到钢瓶中的产品气体中的多个组分实现在线、实时、原位分析。

七、关于北京球盟会(中国)技术有限公司

球盟会(中国)的技术源自清华大学，十余年来专注于光谱检测技术的产业化，产品涵盖拉曼光谱仪、在线拉曼分析仪、光纤光谱仪、在线气体分析仪等多个系列，广泛应用于氟化工、生物制药、能源化工、食药检测、公共安全等领域。

作为 GB/T 14603-2025《电子气体 卤化物气体》国家标准起草单位之一，球盟会(中国)致力于用光谱技术赋能中国高端制造业的质量升级。

在电子特气这一细分赛道，RS2600 系列气体分析仪已经服务于多家头部气体公司和半导体企业，用实际业绩证明了国产高端光谱设备在严苛工况下的可靠性。

结语

GB/T 14603-2025 的发布实施，标志着我国电子气体行业的质量控制标准迈上了新台阶。拉曼光谱法从实验室走向国标，背后是无数工程师和科学家的持续探索。

对电子特气生产企业而言，这意味着一种更安全、更高效、更智能的检测方案已成为可选甚至必选；对半导体和光伏等下游用户而言，原料气质量的稳定可控又多了一层保障。

当国家标准、前沿技术与产业需求三者咬合，电子气体的质量管控正在经历一场从人防技防到光子值守的深刻变革。

(注：文中标准信息来自全国标准信息公共服务平台公开数据，具体技术参数与应用要求请以 GB/T 14603-2025 官方文本为准。)